HVA 矩形閥 88200 系列
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人氣：1302 發(fā)布時(shí)間：2023-06-27 13:56 產(chǎn)品型號(hào)：88200 系列 應(yīng)用領(lǐng)域：大氣控制 產(chǎn)品價(jià)格： 想了解更多產(chǎn)品詳情，請(qǐng) |
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國(guó) HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過(guò)1百萬(wàn)次。HVA 閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過(guò)渡腔室（load-lock chamber），過(guò)渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 超百萬(wàn)次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過(guò)1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
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連接形式： |
標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
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主體材料： |
鋁 |
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公稱通徑： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤溫度: |
《150℃ |
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適用介質(zhì)： |
水、蒸汽、空氣 |
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密封形式： |
軟密封型 |
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驅(qū)動(dòng)方式： |
氣動(dòng) |
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使用壽命: |
1000000 啟閉次數(shù) |
28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號(hào)及2D & 3D 圖
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DN |
Model |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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mm |
inch |
Number |
J (Bolted Body) |
K (Clamped Body) |
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32 x 220 |
1.26 x 8.74 |
28212-0109RX_ |
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32 x 332 |
1.26 x 13.07 |
28212-0113RX_ |
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46 x 236 |
1.81 x 9.29 |
28212-0209RX_ |
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|
50 x 336 |
1.97 x 13.23 |
28212-0213RX_ |
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HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖
請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機(jī)134
