阿瑞斯-μVOC AMC空氣分子污染物ppb級VOC監(jiān)測系統(tǒng)
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人氣：1993 發(fā)布時間：2020-11-12 10:22 關(guān)鍵詞：AMC監(jiān)測 AMC在線監(jiān)測 AMC在線檢測 空氣分子污染物監(jiān)測 ppb級VOC 潔凈間AMC 半導(dǎo)體潔凈室氣體分析儀 產(chǎn)品型號：阿瑞斯-μVOC 應(yīng)用領(lǐng)域：固廢處置 產(chǎn)品價格：0 想了解更多產(chǎn)品詳情，請 |
空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素，會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加。
無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實(shí)時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案，不需要采樣，離線測量。
檢測限達(dá)到sub-ppb級
特點(diǎn)：
在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測
獨(dú)立分開測量有機(jī)物成份
Sub-ppb檢測限
集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
應(yīng)用：
潔凈間污染物監(jiān)測
過濾器狀態(tài)監(jiān)測
加工過程全組份測量診斷污染物
在新風(fēng)空調(diào)箱（MUA）、高效過濾器（FFU）、生產(chǎn)機(jī)臺上方SWIF下方安裝化學(xué)過濾器，實(shí)際生產(chǎn)過程中過濾器的維護(hù)和更換，如果太早或者太遲都會引起產(chǎn)品成本的增加和效率的降低，甚至大的生產(chǎn)事故，停產(chǎn)。
帶有16通道的 阿瑞斯-μVOC 系統(tǒng)可以監(jiān)測過濾器的上下游空氣分子污染物AMC濃度，當(dāng)進(jìn)來的氣體不符合過濾標(biāo)準(zhǔn)時采樣點(diǎn)位于進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)上游；當(dāng)吸收能力耗盡時采樣點(diǎn)位于下游。
工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，獨(dú)特的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測限。
