成都雅普三氯氫硅尾氣分離
來源：成都雅普環(huán)保工程技術(shù)有限公司 閱讀：1798 更新時(shí)間：2009-11-03 16:14三氯氫硅合成尾氣各主要成分的體積分?jǐn)?shù)分別為，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。合成爐尾氣均為可回收的產(chǎn)品或可循環(huán)使用的原料。對尾氣進(jìn)行有效的治理，不僅可以提高原料的利用率，還可以降低三廢的排放量。為了合理治理尾氣，必須根據(jù)尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當(dāng)?shù)墓に嚵鞒毯图夹g(shù)條件。
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三氯氫硅尾氣分離裝置 |
利用以上幾種組份的沸點(diǎn)差異、溶解度差異和在吸附劑上附著能力的差異，可以將以上幾種組份完全分開。我公司開發(fā)了以下兩種工藝技術(shù)處理三氯氫硅尾氣。
分離方法：
1、 冷凝吸附法
三氯氫硅尾氣進(jìn)入冷凝分離系統(tǒng)，增壓后的合成氣被降溫，氯硅烷和氯化氫被分離出來，然后通過精餾將氯化氫和氫氣分離，氫氣進(jìn)入吸附精制系統(tǒng)，得到高純度的精制氫氣。
冷凝分離系統(tǒng)由制冷壓縮機(jī)組、精餾塔和泵組成，吸附精制系統(tǒng)由吸附塔、加熱器和冷卻器組成。
2、 變壓吸附法
變壓吸附系統(tǒng)由吸附塔、換熱器和緩沖罐和組成。任意時(shí)刻都有吸附塔處于吸附狀態(tài)，其余處于再生狀態(tài)。通過氫氣、氯化氫、氯硅烷在吸附劑表面上吸附能力的差異，將氫氣、三氯氫硅、氯化氫分離開。吸附劑通過升溫和降壓的方式得到再生。再生結(jié)束，吸附塔又重新具備處理三氯氫硅尾氣并生產(chǎn)氫氣的能力。
經(jīng)過這一系列過程后吸附塔便完成了一個(gè)完整的“吸附-再生”循環(huán)，又為下一次吸附做好了準(zhǔn)備。各吸附塔交替進(jìn)行吸附、再生，即可實(shí)現(xiàn)氣體的連續(xù)分離與提純。
