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南京慧邦科技研究所

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多晶硅、單晶硅生產(chǎn)廢水處理工藝

             來源:南京慧邦科技研究所 閱讀:3371 更新時間:2009-01-18 14:39

1. 廢水來源

多晶硅、單晶硅生產(chǎn)廢水在電子半導體工業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢水中具有代表性。

2. 廢水組成及特性

在生產(chǎn)過程中需要對含硅原料用氫氟酸、鉻酸、硝酸、鹽酸等強酸進行適當?shù)母g,因此產(chǎn)生大量酸性廢水,通常采用石灰中和法處理。

3. 出水水質(zhì)

本所工藝能達到的標準為污水排放標準GB8978-1996中的一級標準,
即: CODcr≤100mg/l,BOD5≤20mg/l,SS≤70mg/l,PH:6-9等。

4.工藝流程

對酸性生產(chǎn)廢水廢水處理的沉淀效率、水質(zhì)調(diào)節(jié)、污泥處理等幾個方面的考慮,以達到排放標準目的,典型工藝流程如下:

5、工程實例

洛陽單晶硅有限公司 2×30m3/h酸性廢水處理工程


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