集成電路的廢氣處理
更新時(shí)間：2009-04-20 15:38
來源：
作者: 朱海英 黃其煜
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摘要：集成電路工業(yè)的廢氣有含氟化物和硫酸霧的酸性廢氣、含氨的堿性廢氣、含異丙醇和光刻膠的有機(jī)廢氣，含SiO2 的含塵廢氣，以及含硅烷、磷烷的工藝尾氣等，這些工業(yè)廢氣中大部分成分是有毒有害的，必須進(jìn)行有效的處理才能排入大氣中。本文主要討論上述工業(yè)廢氣的分類、處理方式、應(yīng)用范圍及應(yīng)用實(shí)例等。
1 引言
近十年來，集成電路產(chǎn)業(yè)在我國得到了迅速的發(fā)展，隨著產(chǎn)業(yè)規(guī)模的持續(xù)擴(kuò)大，隨之而產(chǎn)生的各種污染也不斷引起企業(yè)、國家等方面的高度重視。集成電路產(chǎn)生的污染物主要有生產(chǎn)廢水、工藝廢氣、生活污水、動(dòng)力設(shè)備噪聲和固體廢物等。這些污染物必須進(jìn)行有效治理，才能提供安全的工作環(huán)境及保護(hù)周邊的環(huán)境生態(tài)。本文將重點(diǎn)介紹工業(yè)廢氣的分類、處理方式、應(yīng)用范圍及實(shí)例等。
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