KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積 NSN70 隔熱膜
來源：伯東企業(yè)(上海)有限公司 閱讀：6519 更新時(shí)間：2021-01-18 15:28西南某研究所在研究 NSN 隔熱膜試驗(yàn)中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源濺射沉積 NSN70 隔熱膜, 并通過選擇合適的 AgCu 合金靶材, NSN70隔熱膜的膜系設(shè)計(jì)與制備、樣品的形貌檢測(cè)、耐候性試驗(yàn)、光學(xué)性能測(cè)試等多方面進(jìn)行 NSN70 隔熱膜的研究.
伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):
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型號(hào) |
RFICP140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
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試驗(yàn)結(jié)論:
在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜, 繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性, 同時(shí)能有效的解決 Ag 易硫化的難題.
KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的.
KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)的領(lǐng)導(dǎo)者, 已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.
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