微電子工業(yè)水質(zhì)標(biāo)準
更新時間：2008-09-17 10:44
來源：
作者:
閱讀：2280
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摘要: 微電子工業(yè)水質(zhì)標(biāo)準
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LED(TFT)
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256K DRAM
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1M DRAM
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4M DRAM
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16M DRAM
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64M DRAM
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線寬度(um)
|
-
|
1.4 - 1.8
|
0.8 - 1.0
|
0.4 - 0.6
|
0.2 - 0.3
|
0.1
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電阻率
（Mohm,25℃）
|
>18.0
|
>17.5
|
>18.0
|
>18.0
|
>18.1
|
>18.1
|
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TOC（ppb）
|
<20
|
<100
|
<30
|
<10
|
<3
|
<1
|
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微粒（No./ml）
|
(0.1μ) <10/ml
|
(0.2μ) <50/ml
|
(0.1μ) <10/ml
|
(0.05μ) <30/ml
|
(0.03μ) <10/ml
|
(0.03μ) <5/ml
|
|
細菌（CFU/ml）
|
<1/100
|
<10/100
|
<1/100
|
<5/1000
|
<5/1000
|
<5/1000
|
|
溶解氧（ppb）
|
<50
|
<100
|
<100
|
<50
|
<5
|
<3
|
|
二氧化硅（ppb）
|
<5
|
<10
|
<5
|
<3
|
<1
|
<0.5
|
|
硼（ppb）
|
-
|
-
|
<2
|
0.05
|
0.05
|
0.05
|
|
鈉（ppb）
|
<0.1
|
<0.2
|
<0.1
|
<0.1
|
0.05
|
0.01
|
|
鉀（ppb）
|
<0.1
|
<0.3
|
<0.1
|
<0.1
|
0.05
|
0.02
|
|
鋅
|
<0.05
|
<0.1
|
<0.05
|
<0.05
|
0.02
|
0.02
|
|
鐵
|
<0.05
|
|
<0.05
|
<0.05
|
0.02
|
0.02
|
|
銅
|
<0.05
|
|
<0.05
|
<0.05
|
0.005
|
0.005
|
|
氯化物
|
<0.1
|
<0.2
|
<0.1
|
0.1
|
0.02
|
0.02
|
|
溴化物
|
|
<0.1
|
<0.1
|
0.05
|
0.02
|
0.02
|
|
硝酸鹽
|
|
<0.1
|
<0.1
|
0.05
|
0.02
|
0.02
|
|
硫酸鹽
|
|
0.1
|
<0.2
|
0.05
|
0.05
|
0.05
|
|
不溶殘渣
|
|
<0.3
|
0.1
|
0.05
|
0.05
|
0.05
|
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