國家半導(dǎo)體行業(yè)VOC排放標(biāo)準(zhǔn)制訂研究

更新時間：2009-01-14 16:26 來源：上海環(huán)境科學(xué) 作者: 閱讀：1619

摘要：隨著近年來我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)繁榮發(fā)展，中國已成為全球半導(dǎo)體制造增長最為迅速的市場。為有效控制監(jiān)管半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中大量使用的各種有機(jī)溶劑所產(chǎn)生的廢氣中可揮發(fā)性有機(jī)物(VOC）的排放，加強(qiáng)行業(yè)污染控制，規(guī)范行業(yè)環(huán)境保護(hù)管理工作，對制訂半導(dǎo)體行業(yè)VOC排放標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了研究。概述了半導(dǎo)體行業(yè)VOC排放的特點。分析了該行業(yè)對VOC排放的治理技術(shù)。闡述了美國和中國臺灣地區(qū)有關(guān)半導(dǎo)體行業(yè)VOC廢氣的排放標(biāo)準(zhǔn)。從國內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)VOC治理現(xiàn)狀、現(xiàn)有監(jiān)測技術(shù)、VOC排放管理方式等方面探討了我國半導(dǎo)體行業(yè)VOC廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)的制定思路。

關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體制造，廢氣排放，可揮發(fā)性有機(jī)物，排放標(biāo)準(zhǔn)

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